ГИС выполняют в виде функционального законченно-го изделия. Одним из основных элементов ГИС является подложка из стеклокерамического диэлектрического материала, который должен отвечать следующим тре¬бованиям:
• обладать высокой электрической, тепловой стойкос-тью и механической прочностью;
• допускать обработку поверхности не ниже 12 класса шероховатости;
• иметь малый тангенс угла потерь в радиочастотном диапазоне волн;
• иметь высокое удельное сопротивление;
• обладать химической инертностью к вносимым ма¬териалам.
Указанным требованиям в отношении материала под¬ложки удовлетворяют поликор, бесщелочные стекла С41-1 и С48-3, ситалл СТ50-1 и некоторые разновидности ке¬рамики. Так как керамика и поликор обладают высокой теплостойкостью, они часто используются в толстопленоч¬ных ЕИС. Фдрма подложки всегда прямоугольная.
Контактные площадки (рис. 7.4) предназначены для обеспечения электрического контакта между пленочными элементами и соединительными проводниками, а также между пленочными и навесными элементами.
Их выполняют из материалов, обладающих высокой адгезией и электропроводностью. Контактные площад¬ки чаще всего изготовляют из алюминия или меди, реже из серебра, золота, однако эти металлы обладают низкой адгезией к веществу подложки. Для улучшения адгезии (прилипания) между проводником, контактной площадкой и подложкой напыляют электропроводящие материалы на подслой из хрома, никеля, ванадия. Часто применяют соединения из алюминия и меди с подслоем из никеля, что минимизирует окисление.
Пленочные резисторы имеют прямоугольную форму (рис. 7.5, 7.6).
Их изготовляют из резистивных полосок малой ши-рины разной геометрической конфигурации, заканчиваю¬щихся контактными площадками. Контактные площадки выполняют из металла проводников, наложенного на ре-
ные пленки. При необходимости получить большую
чину сопротивления допускается их изготовлять в
меандра (рис. 7.6). Материалы для изготовления
сторов подразделяют на три разновидности: металлы
ример, тантал, хром), сплавы металлов (нихром), ке-
ико-металлические смеси (РС-3001, МЛТ-ЗМ).
